二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9213343 待售

KLA/TENCOR Archer AIM+是一种先进的检测设备,它为掩模和晶圆制造行业提供自动光学检测（AOI）和自动测试图样（ATP）。它将KLA获得专利的基于3 D细胞的视觉智能流程与TENCOR创新机电一体化和机器视觉技术相结合,提供全面、自动化的检查解决方桉。KLA Archer AIM+系统提供详细的3D成像,允许在2D曲面和当今先进的光掩码技术中发现的复杂的3D元件几何上检测缺陷。该单元使用多种高级算法对所有类型的光掩码图样和元件几何进行检查，如单环、双环和倾斜环、高纵横比和线缘粗糙度（LER）以及掩蔽区域扫描。TENCOR Archer AIM+通过使用获得专利的三维AOI工艺和自动真正的延迟（TTD） ATP确保了可重复性,可快速提供准确的结果。自动TTD过程补偿测试和测量数据之间的时间间隔，从而产生一致和准确的缺陷检测结果。该机器采用模块化设计，使其能够轻松融入现有生产流程。该工具由直观的用户界面控制，只需单击几下即可完成复杂的编程。控制软件采用图形菜单、拖放操作和上下文相关帮助,从而实现高效操作。Archer AIM+资产还可以在单个芯片级别检测、分析和纠正缺陷，从而实现更高水平的生产自动化并产生更高的收益率。该模型还具有用于质量监测的基本统计过程控制（SPC）以及用于提高过程能力和可重复性的高级SPC。高效的配方处理和数据管理可确保设备能够轻松适应未来的流程要求,而无需重新设计。KLA/TENCOR Archer AIM+系统是掩模和晶圆制造的理想解决方桉,在用户友好的封装中提供无与伦比的精度和效率。采用模块化设计和先进算法，为掩模和晶圆质量控制及检验要求提供了一个全面的解决方桉。