二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9226067 待售

KLA/TENCOR Archer AIM+是一种掩模和晶片检查设备，设计用于对标线、显示/投影掩模、光掩模和晶片进行经济高效、准确和自动化的检查。它提供了全面的光学检查能力，包括对各种口罩、晶片和其他重要基材材料的在线和离线检查。KLA Archer AIM+系统配备了专有的LED和基于CCD的数字线路扫描。使用此设计,设备能够在离线和内联配置中自动成像和分析。机器内置的成像和检测算法为用户提供了各种各样的分析功能，包括不透明和透明的掩模缺陷检测和分类、接触孔的表面分析和面积检查以及设备参数的测量和对准。该工具还允许自动测量各种标线的边缘,包括大面积和密集的接触孔。此功能允许快速、可靠的校准和测量过程,从而提供通常所需时间的一小部分。TENCOR Archer AIM+提供了许多缺陷分类选项,并根据用户的个人需求和特定应用程序为用户提供了不同的选项。这包括一种"学习"方法，它允许用户根据高分辨率显微镜图像将缺陷分类为真正的缺陷，而不是由过程引起的效果。这种方法对于结构高度复杂的高级专业光掩码特别有用。此外,该资产能够以高达100 nm的最高分辨率掩蔽检查。此分辨率提供了对图像特征和形状特征的深入分析,从而能够检测到最小的缺陷。该模型还能够创建广泛的晶圆级比较图，用于实时过程控制和审查。Archer AIIM+还配备了一系列附加功能,包括自动聚焦优化设置和灵活的图像可视化功能,以便于识别缺陷。此外,用户还可以根据当前需求和输入设置来配置软件设置。此外,该设备还提供多种配置,从单图像掩码到多站点作业和多个处理阶段。Archer AIM+是一个模块化系统，允许用户根据自己的需求轻松向上或向下缩放设备。它还提供一系列电源选项,功率范围从140-400瓦不等,并且与PC和Mac平台兼容。此外，该机器还能够支持OCR认证的网络协议以及CAD友好型数据采集和传输。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM+工具是一种功能强大的掩码和晶圆检测资产,配备了一整套工具,可实现准确高效的成像和分析。它是生产和研究应用的理想选择。