二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 待售
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已售出
ID: 9231862
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
Robot controller
Handler
I/O Interface board
Motion controller
Optic
Z-Stage
Pneumatic box (Air and vacuum module)
Computer
Keyboard and mouse
Operator console
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Floatation damaged
Missing parts:
SBC Controller
Floatation controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种自动掩模和晶片检查系统,它可以捕获高分辨率图像,分辨率高达7 μ m的基板,然后对其进行缺陷分析。它能够对高价值晶片和掩模基板(如闪存、液晶屏和高级功能尺寸)进行快速、准确的检查。高分辨率图像由一套软件模块进行分析和评估,这些模块比较模式以识别制造和装配缺陷。它包括晶片排泄率分析、临界尺寸(CD)测量和电气测试能力等工具。它还提供无损物理缺陷分析,包括膜裂纹和热应力分析。系统可以使用易于使用的前端软件为用户创建检查作业,用于特定于应用程序的作业选择和操作。它具有强大的自定义设计的用户界面,用于执行掩码和晶圆检查作业,以实现产量优化。该系统与各种机器人连接,用于处理来自不同供应商的晶片或掩码空白。集成缺陷查看解决方桉为对检查工具收集的图像进行详细分析提供了一个安全的查看环境。它具有一流的图像保真度,能够快速比较整个晶片或掩码空白的缺陷与缺陷。审查工具还包括有助于查找缺陷群集的复杂模式识别工具。总体而言,KLA Archer AIM为掩模和晶圆检查提供了可靠可靠的解决方桉。其精密的软件模块套件结合高分辨率成像能力,使其成为高级物理缺陷分析、CD测量和电气测试的理想选择。其集成缺陷审查解决方桉还帮助用户快速准确地查明制造和装配缺陷。
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