二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9236390 待售

KLA/TENCOR Archer AIM+是为生产先进集成电路而设计的自动化掩模和晶圆检测设备。该系统向工厂和计量实验室提供过程关键性能反馈，用于高分辨率测量组成、模式和缺陷检测。该单元配备2K高分辨率成像机，具备集成软件、先进缺陷检测算法和车载过程控制能力。高分辨率成像能够检测、定位和测量到亚微米级的缺陷。集成软件套件包括对图桉特征、光学失真、薄层厚度、线条分辨率和表面反射率的精确测量。KLA Archer AIM+工具采用3D公差检测技术构建,能够检测结构几何的细微变化。该资产还提供了先进的缺陷检测算法，能够检测和分类各种关键缺陷，如颗粒、工具标记、迭加的桥接和错位。该模型配备了高级软件工具,使制造团队能够实时分析、修改和审阅数据,还配备了串联过程控制功能,允许实施纠正操作,从而降低缺陷率。该设备设计有一个以用户为中心的强大平台，允许为晶圆检查过程定制用户定义的首选项。这样可以减少为每个数据收集任务设置工具所需的时间,从而确保更快速、更高效的分析。该系统完全灵活且可配置,能够容纳不同类型的结构、工艺配方和检查环境。最后，该装置可以很容易地升级和增强，以最大限度地提高其性能，并向更加自动化和高效的晶圆检查过程转变。可升级功能为生产可扩展性和改进产量监控提供了平台。易于使用的用户界面提供了一组全面的测量值,并使用户能够通过单击按钮快速调整公差和更改协议。