二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237501 待售

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KLA / TENCOR Archer AIM+
已售出
ID: 9237501
晶圆大小: 8"-12"
Overlay inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR Archer AIM+是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在提供增强的过程控制、产量改进和误差减少。该系统提供了前所未有的分辨率、灵敏度和检测缺陷的速度。该单元由具有高分辨率相机的高级光学设计、图像处理器和分析图像的专有算法组成。这种先进技术的结合使机器能够检测到尺寸小至25纳米的缺陷。该工具能够揭示否则可能无法检测到的关键阵列缺陷,因此非常适合检查最关键的层以获得精度和精确度。该资产旨在最大限度地减少操作员的互动并简化检查过程。它的图形用户界面(GUI)提供了易用性和对所有设置和组件的直观访问,允许快速、准确的设置和实时调整。模型是完全自动化的,如果需要,可以设置为无人值守运行。该设备不仅可以检测口罩和晶片上的缺陷,还可以检测临界尺寸(CD)和阵列线宽等临界参数的变化。它通过标记可能改变性能的任何变化来帮助确保无故障操作。该系统还提供全面的数据收集和分析软件,使用户能够存储和检索数据,运行分析和监控流程。该单位的报告模块会自动将结果与用户定义的标准进行比较,从而方便地确定改进的领域。机器独特的特性组合有助于确保最高质量的掩模和晶片。与传统的检验系统相比,它还有助于节省时间和资源,同时提供更高的产量和更好的性能。
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