二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237846 待售
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已售出
ID: 9237846
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Overlay inspection system, 12"
(2) ASYST IsoPort SMIF Systems
(2) Load ports
Handler system: Modular wafer handler, 12"
HLS Lamp
YASKAWA Robot
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
Automation:
GEM/SECS and RS232
HSMS
E84 Enablement for OHT & AGV/RGV
E87 Carrier management services (Based on E39)
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate tracking
(2) Advantage radio frequency (RF) carrier ID readers
Light tower
EMO Shield
Network interface: HSMS, GEM/SECS
SEMI Wafer standard with notched orientation
Cassette type: 25 Wafer FIMS-ENTEGRIS Spectra 26 slots
FOUP 25 Slots
Factory interface items, material interface, LP:
(2) FOUPs
Dual FIMS ENTEGRIS
Top shelter for subfab components
Side panels
Chemical filters for FFU: Air inlet of fan force
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
UPS
Manuals included
Power supply: 230 V, 50 Hz, 15 A, Single phase
2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一种掩模和晶圆检测设备，旨在简化半导体行业缺陷数据的识别、审查和验证过程。该系统是利用KLA强大的软件和硬件的综合解决方桉。它结合了检查技术，包括高分辨率晶圆成像、自动模式识别和3D缺陷分析，以提供快速、精确和可重复的结果。该单元由主单元和显微镜组成。主单元内装有激光扫描仪、晶圆处理器、光学投影仪、影像处理处理器、缺陷审查机。与主单元相连的显微镜是一种高分辨率数字成像工具，以各种放大倍数提供晶圆表面特征的详细图像。KLA Archer AIM+利用缺陷审查软件和硬件外围设备的组合来检测和分析缺陷。利用高分辨率成像和尖端自动化缺陷分析技术实时获取和处理缺陷。通过模式识别和3D分析算法的组合，资产可以准确地识别、计数和分类晶圆上的缺陷类型。该模型包括一个直观的用户界面,用于查看和验证缺陷,以及自定义缺陷过滤器和设置自动缺陷查看。设备还包括一套预定义的产量、故障和可靠性分析工具,用于分析产量、缺陷级别和其他关键指标的结果。这些工具提供了对制造过程的宝贵见解,有助于随着时间的推移提高产品质量和产量。TENCOR Archer AIM+系统是提高半导体行业整体产品质量的有力工具。它提供了快速、精确和可重复的结果,并提供了一套工具来促进有效的缺陷审查和产量分析。该单元是一个高度自动化和可靠的用于掩模和晶圆检查的解决方桉，可以很容易地集成到现有的SEMIConductor工艺和系统中。
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