二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9276702 待售
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已售出
ID: 9276702
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Overlay inspection system, 12"
SMIF: (2) Loadports (Isoport)
GEN3 Handler
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种先进的机器视觉掩模和晶圆检测设备,旨在为半导体掩模和晶圆临界层提供高分辨率、自动化的检测。该系统结合了先进的光学和软件,以实现对生产和设计半导体器件至关重要的高度精确和敏感的测量。首先,KLA Archer AIM具有高分辨率光学和成像功能,扫描速度极快。这使设备能够快速准确地获得掩码和晶圆临界层的图像。相机和光学设备的组合能够在可见光的波长下获得最好的细节和细节。此外,该机器还可以检测和测量具有超高灵敏度的掩模和晶片层的微小变化,以检测小至0.01 µm的光刻缺陷,并检测线缘粗糙度、线宽粗糙度、缺陷密度、剂量大小、可重复性、均匀性等规格外特征。TENCOR Archer AIM设计了多种现场验证的图像处理算法和先进的分析能力,以确保掩码和晶圆检测的准确性和一致性。这套算法和软件能够检测和测量异常,如污染、阵列变形和小线或细线。此外,该软件还具有多维功能,因为它能够从任何方向以及从任何角度或方向测量掩模和晶片。这样可以对关键层进行更全面的检查和分析。该软件还具有内置缺陷审核模块,允许用户更彻底地审核和分析缺陷。此数据可用于生成报告、图形和图像,以帮助识别和分类缺陷。如有必要,可与其他人员或部门分享报告以供审查。此外,Archer AIM还配置了用户友好的图形用户界面(GUI),使操作员能够快速轻松地配置工具并查看检查结果。灵活的硬件和软件选项可用于满足特定掩码和晶圆检查应用程序的要求。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM是一种功能强大、可靠的机器视觉面罩和晶圆检测资产,旨在提供最高水平的准确性和可靠性。
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