二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9293250 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一种自动化的内联掩模和晶圆检测设备,可提供高性能的屈服管理、缺陷处理和设备鉴定。该系统采用4kPixelDetectorArray的检测头,可提供检测小缺陷的高分辨率检测。光学单元结合了强大的图像处理和缺陷检测算法，提供了最高的缺陷检测精度。机器包括一个独特的自动优化过程，允许用户为自己的特定应用自定义工具并提高检测灵敏度。此外,该资产还支持自动化和手动缺陷审查,从而提供了全面的解决方桉。该模型还配备了缺陷审查站，让用户能够快速、轻松地识别和分类缺陷。免费的高级软件包提供虚拟审阅，允许用户将原始设备数据与检查过程的结果进行比较。软件还提供缺陷分类库，使用户能够开发和存储适合其特定过程的自定义缺陷列表。该设备通过综合各种先进的检测和故障发现技术，确保了快速准确的缺陷识别。该系统使用具有先进自动化测量能力的扫描电子显微镜（SEM）单元，允许快速准确的缺陷大小和缺陷位置识别。它还包括一个CD-SEM机，它依赖于电荷耦合器件（CCD）技术来实现更高分辨率的图像。CD-SEM工具与3D高分辨率立体显微镜集成，用于缺陷分类应用。此外，该资产可以与各种先进的计量系统进行缺陷分类。该模型包括一个全设备安全网络，由安全参数、认证机制和全面的系统日志组成，以确保最大限度地保护质量要求。该单元还使用户能够远程访问审阅和分析工具,从而使用户能够快速讨论和审阅问题。最后,该机的设计旨在提高工艺效率,提高吞吐量,减少错误的拒绝.该工具为用户提供了高度敏感和准确的检查结果以及缩短的检测时间。资产还直接向流程工程师和操作员生成详细的缺陷报告摘要,从而简化了审核过程。所有这些特点和优点使KLA Archer AIM成为理想的掩模和晶圆检测模型。