二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #293604014 待售
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KLA/TENCOR Archer XT+是一种具有自动吞吐量优化功能的大面积缺陷检测掩码和晶圆检测设备。它旨在进行产品上和蚀刻后灵敏度测试,以提高生产产量并进行生产线末生产测试。检测系统由专门的光学/半导体缺陷检测单元组成。它具有5轴多维扫描头,能够以高速帧速率实现高分辨率成像。该机器还包括MultiSense2均衡技术，帮助减少整个视野的不均匀性。该工具配备了先进的光学子系统。它能够以令人印象深刻的0.040微米分辨率检测微小的缺陷，如颗粒和划痕，这有助于准确识别颗粒缺陷。该资产为早期准确识别真实缺陷提供了先进的噪声免疫力。此外,该模型还通过其先进的MultiSense2均衡技术提供了先进的错误缺陷预防功能。KLA Archer XT+通过其专有的Equalization Technology辅助其多维扫描头，设计为即使是最复杂的掩模和晶圆结构也能快速处理。它能够快速准确地检查大面积区域，即使是在具有挑战性的基板上，如间距紧密的图样。通过设备的高速、高分辨率和自动吞吐量优化,TENCOR Archer XT+提供了极致的产品上和蚀刻后缺陷检测功能。该系统与广泛的计量和缺陷表征工具兼容，支持自动吞吐量跟踪和优化。此外,KLA还提供了一套集成软件包,以提高效率。这包括先进的过程控制和模式匹配算法，为检测单元提供了完整的控制和优化。总之,Archer XT+是一种功能强大、用途广泛的面膜和晶圆检测机.它提供了先进的光学子系统功能以及MultiSense2均衡技术,以提供缺陷检测的极致灵敏度和准确性。该工具还支持高级软件控制和自动化功能,以确保最大吞吐量。
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