二手 KLA / TENCOR Archer XT #9034312 待售
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KLA/TENCOR Archer XT是一种先进的掩模和晶圆检测设备,设计用于各种半导体制造应用。该系统具有高速、高精度、3D的口罩和晶片检测功能;并提供针对最关键的掩模和晶圆缺陷检测要求而设计的深入分析和表征工具。KLA Archer XT基于KLA先进的光学、软件和成像技术,并提供了广泛的自动化功能,如缺陷检测、缺陷分类和图像分析。为了更快地检测和识别缺陷,设备可以加快检测、定位晶片和掩码上的缺陷并对其进行表征的过程,而不会牺牲准确性。TENCOR Archer XT提供四种成像系统-明场、低角度明场、暗场和荧光-有助于支持各种缺陷类型。它还提供高级算法和后处理功能,像基于模式的分组、缺陷分类和高级分析,进一步帮助缺陷分类。Archer XT机器是高度可定制的,可以配置为满足特定需求。为了进一步支持其先进的缺陷检测功能,该工具使用多配置晶片支架,提供一流的缺陷检测功能。它还采用模块化设计,可扩展,易于维护和升级。该资产具有小视野(SFOV)功能,能够查看和检查小于100 nm的设计规则。SFOV技术创造了一个提高筛选准确性和清晰度的环境,允许更大的缺陷检测能力。KLA/TENCOR Archer XT专为易于使用而设计,为产量管理和过程控制的开发、分析和评估提供了全面的工具。该模型可与TENCOR检查和产量管理系统集成,从而实现额外的自动化和数据集成能力。凭借先进的检测能力和易于使用的接口,KLA Archer XT设备提供了完整的掩码和晶圆检测解决方桉。该系统提供对掩模和晶片的三维检查、缺陷的深入分析和表征、SFOV功能以及自动数据收集和分析。支持最严格的半导体制造要求,TENCOR Archer XT是任何希望最大限度地提高其掩模和晶圆产量的组织的理想选择。
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