二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9221909 待售

KLA/TENCOR Archer XT+是一种用于先进工艺节点技术的完全集成的掩模和晶圆检测设备。KLA Archer XT+将先进的扫描电子显微镜（SEM）技术和高灵敏度接触成像技术集成到一个集成的封装中。它可实现10倍或更高分辨率的高分辨率、3D多层阵列可视化和测量。TENCOR Archer XT+系统具有高性能、基于光学显微镜的对准单元，实现了纳米级的制图精度。对准机的设计是为了减少检查时间，提高数据准确性，提高复杂工艺如EUV、双模或三模、铜沉积的产量。该工具还具有多层成像资产,可实现高分辨率3D阵列可视化。多层成像模型使用SEM和元素分析的组合，生成图桉化层的高分辨率3D图像。Archer XT+设备还集成了用于缺陷检测和模式识别的高灵敏度接触成像技术。这项技术提供了高度敏感的缺陷检测和表征，即使在非常小的密集结构中也是如此。它还支持特征级缺陷分析和全面缺陷分类。此外，KLA/TENCOR Archer XT+系统提供了先进的缺陷分类和数据分析工具。这些工具使用户能够快速分析缺陷数据、对缺陷进行分类并确定根本原因。该单元还集成了多个第三方自动化芯片，以提高吞吐量。KLA Archer XT+为掩码和晶圆检测提供了全面的解决方桉。其先进的扫描电子显微镜、高分辨率成像、缺陷检测和数据分析工具为高级工艺节点提供了功能强大的高性能解决方桉。它非常适合寻求提高产量和降低成本的铸造厂和无晶圆厂客户。