二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9231431 待售
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KLA/TENCOR Archer XT+面膜和晶片检测设备是一种综合的网页控制系统,用于检测复杂的面膜和晶片图样。该装置利用多种先进技术,在纳米级检测和纠正复杂缺陷,确保了工艺精度和产量的最高水平。XT+机器包括先进的缺陷检测与分类(DD&C)技术,它结合了多种光学技术和复杂的图像处理技术来检测和定位掩模和晶圆图样中的亚微米缺陷。DD&C使用的算法可以分析多种选项,包括航空图像、散射测量、光掩模图像、焦点序列、活动相位对比度、微弱散射测量和暗场成像。该工具可以检测到较小的特征尺寸,以及识别结构缺陷、光掩模缺陷和被困电荷等关键缺陷。XT+资产还配备了一个岩石计量平台,能够对尺寸长短间距特征进行亚微米检测。这大大降低了缺陷密度,从而改善了过程控制并提高了生产率。XT+包括薄膜应力计量,允许用户测量特征的线性,从而实现更精确的过程建模和更好地采购高质量的材料。该模型还配备了自动临界维度(CD)计量,它提供了整个晶圆过程变化的精确测量。XT+设备能够使用先进的模式识别技术实现自动跟踪和缺陷定位。还配备了高速智能缺陷登记系统,用于快速缺陷分类验证。XT+还提供多种Web控制安全功能,包括屏幕锁定计时器、访问控制和数据加密。KLA Archer XT+面膜和晶片检测仪是一种用于检测复杂的面膜和晶片图样的综合机器。它结合了先进的DD&C技术、岩性计量平台、薄膜应力计量和自动CD计量,提供了最高水平的精度和产量。自动缺陷跟踪、缺陷定位、智能缺陷登记,确保缺陷快速分类验证。此外,XT+工具还具有多种Web控制安全功能,以增强安全性。这使得TENCOR Archer XT+掩模和晶片检测资产成为检测复杂晶片和掩模的绝佳选择。
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