二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9256573 待售
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KLA/TENCOR Archer XT+是为半导体工业中要求最苛刻的工艺控制应用而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统采用先进的自动化计量技术和先进的软件，对生产和研究晶片进行快速、本地化的测量。KLA Archer XT+单元采用独特的双光束成像机，提供半导体特征的高分辨率图像，包括闸层、多晶硅图桉和扩散线。该工具提供了从可视化概述到纳米级特征表征的多个分辨率级别的自动化计量功能。这样可以准确确定特征参数,包括线宽、迭加对齐、临界尺寸（CD）和工艺变化。通过使用可选的集成二次电子成像资产（SEI），TENCOR Archer XT+用户还可以检查晶圆的表面性质。Archer XT+模型还提供了串联成像功能,具有可选的数字图像关联（DIC）和无掩码成像系统。这使设备能够快速分析掩模模式并生成详细的图像以进行缺陷检查。通过添加AreaGap系统,可以配置KLA/TENCOR Archer XT+以映射和表征三维（3D）模式。该单元还配备了数据分析、缺陷检测、过程控制等先进软件应用。内置的生产效率工具使用户能够生成有关缺陷类别、光掩码差异以及用于过程控制的其他关键指标的全面报告。这些应用结合KLA Archer XT+的高分辨率计量功能，为用户提供高精度、快速周转时间和改进的过程控制。
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