二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9272511 待售

KLA/TENCOR Archer XT+是一款先进的掩模和晶圆检测设备,可实现非常高分辨率的2D和3D检测扫描,包括密集图样、高长宽比接触孔、低对比度特征、衍生物等挑战。该系统可确保更快的周期时间、更高的缺陷检测率、更好的缺陷分类准确性,并通过基于经验的校正提高结果。借助先进的计算成像（CI）技术,KLA Archer XT+为半导体制造商提供了对复杂模式的特殊观察,以便能够快速准确地识别缺陷。它具有一个场发射电子束源，在一次扫描中扫描和检查范围高达25000X的晶圆和掩码。该装置由一台最先进的自动化电磁机辅助，以提高准确性、重复性和可追踪性。此外,还具有一系列用于高分辨率口罩和标线的检查功能,如迭加检查、对比兴趣（CI）检查和设计为检查（DFI）功能,这些功能旨在检测模式中的每一个微观级别缺陷。除此之外,TENCOR Archer XT+还加载了其他功能,例如：确保高效操作的自动化操作功能。为满足最具挑战性的结构的要求而量身定制的高级缺陷识别功能。综合缺陷分类，提供有关发现缺陷类型的必要细节。强大的图像数据采集（IDA）软件,用于指导和验证检查过程的结果。可升级的功能和软件包,可帮助用户跟上最新技术的发展。所有这些功能使用户能够及早发现潜在的设计问题,精确确定缺陷的优先级,并通过一系列扫描后3D效果来保持产量,从而最大限度地提高吞吐量。这些使Archer XT+成为制造精密口罩、晶片和设备的可靠而全面的工具。