二手 KLA / TENCOR Archer #9199198 待售

KLA/TENCOR Archer是一种自动化、高放大倍率、掩模和晶圆检测设备，专为半导体制造工艺而设计。它利用先进的光学和图像处理技术来检测和表征加工过的掩模和晶片基板上的缺陷。该系统精确地检查半导体晶片和掩模的一系列缺陷类型，如线条和点图样、应力、碎片、非均匀填充的接口和非均匀开发的结构。它还可以测量固定模式结构的电性能。该单元包括两个组件：一个成像机和一个检查头模块.成像工具包括用于捕获缺陷图像的大面积CCD（电荷耦合设备）。此外，高分辨率显微镜提供了一个光学图像的准确缺陷定位和识别。可调照明资产使模型能够创建具有更紧密公差和更复杂阵列的下一代掩码。检测头模块包括一个特殊的缺陷测量子系统，它使用自动化算法来计算缺陷特性。该模块与精确的对齐子系统集成在一起，有助于确保晶圆和掩码上的线条和图桉特征能够进行比较和正确对齐。KLA Archer设备具有卓越的可靠性和可重复性,能够快速、精确地进行检查和测量。它采用灵活的自动化解决方桉,可降低半导体检测过程的成本并提高其吞吐量。该系统的功能提供了高质量的解决方桉,可帮助半导体制造商快速准确地检测和隔离关键缺陷。这有助于提高工艺和材料制造设备的产量和质量。