二手 KLA / TENCOR Archer #9386838 待售

KLA/TENCOR Archer是一种用于半导体制造的用于检测晶圆表面缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统由图像传感器、光源、光学组件和复杂的软件算法组成。它使用多波长照明和相移来扫描每个晶圆，以识别指示表面缺陷的明暗区域的模式。单元中的图像传感器能够从不同角度和不同深度捕获高分辨率图像的图样。这可以通过使用亮场、暗场、斜光和偏振光来实现。收集的数据随后由机器强大的软件算法处理，并结合起来创建详细的3D曲面图像。工具中的光源是紫外线和红外光的高度可调、可优化的光源。该资产还使用模模迭加和焦点变化模式等功能。模对模迭加允许模型比较不同的扫描，焦点变化模式提供更精确和详细的测量。设备的光学元件，如透镜、镜子和滤镜，用于提升捕获图像的质量。这些透镜通过在不同方向上折射光线，帮助准确地捕捉到详细的图像，而滤镜则用来消除图像中不需要的噪声。反射镜还有助于倾斜图像传感器并提供不同的图像角度。KLA Archer是一个先进的掩模和晶圆检测系统，能够检测到尺寸小至5nm的缺陷。这个单元使用最新的技术和复杂的算法来捕捉晶圆的高度精确和详细的图像。它旨在提高生产效率，减少返工和更换成本，并确保最优质的产品。