二手 KLA / TENCOR ATL-100 #293651145 待售

KLA/TENCOR ATL-100是一种掩模和晶片检测设备,旨在快速准确地检测可能影响半导体器件性能的缺陷。该系统利用先进的双视图成像技术来产生高分辨率的掩模和晶圆表面图像。KLA ATL-100检测单元是一个完全集成的自动化机器,包括TENCOR ATL-100检测平台、扫描点显微镜（SSM）传感器和pcom™自动缺陷检测软件。ATL-100通过将亚波长光学和Motion Vision AE算法与KLA着名缺陷分类专业知识相结合,提供卓越的缺陷检测、分类和审核功能。KLA/TENCOR ATL-100检测平台可以检测B-Si、多晶硅和FIB丝等多种面膜以及多种晶圆技术，包括光刻、溅射和CMP。通过结合先进的光学技术和高分辨率成像传感器，KLA ATL-100提供了涵盖广泛缺陷特性的全场、基于晶粒噪声的缺陷检测。扫描点显微镜（Scanning Spot Microscope, SSM）传感器是一种集成光学检查解决方桉，利用亚波长分辨率检测光掩模、晶片和放置目标上的缺陷。SSM传感器使用一个可以在1.5KHz移动的视场,以及一个具有高速、高功率脉冲激光器的光源。SSM传感器捕获可以使用自动缺陷查看软件查看和分析pcom™缺陷图像。pcom™自动化缺陷审查软件是一种全自动缺陷审查工具,包括实时缺陷管理、缺陷分类和后处理解决方桉。这款缺陷审查软件采用独特的自学算法，对缺陷状态进行可靠准确的检测、分类和报告，为用户提供全面的缺陷图片和全场、亚波长缺陷检测能力。此外，pcom™资产的自动化审查能力加强了检查质量和成本效率。TENCOR ATL-100掩模和晶圆检测设备具有先进的光学和成像技术集成模型、先进的缺陷审查软件和直观的用户界面,是一种先进的前沿解决方桉。该系统提供了最高的产量和准确性,同时利用最高的检查准确性、自动缺陷审查功能和扩展的吞吐量,最大限度地降低了总体拥有成本。