二手 KLA / TENCOR Candela CS20 #293607165 待售

KLA/TENCOR Candela CS20是一种前沿掩模晶片检测设备,能够检测200 mm以上的半导体晶片。该系统采用HDR-3000溷合模式识别技术实现了缺陷和掩码的自动配准，提供了卓越的灵敏度和准确性。该单元先进的光学设计包括六个紫外线和可见通道，允许检查掩模或晶圆上的几种特征，如全视野、线缘和光栅物体。此外,KLA CANDELA CS-20旨在支持一系列材料检查,包括标线和光掩模,具有超高通量能力,产品寿命不到10年。该机配备了最先进的照明系统和硬件组件，包括亮场、斜角暗场、亮暗场、偏光暗场、斜角亮场。先进的光学工具配备了四个在飞行（OTF）相机，能够放大功能高达1000倍，允许检测甚至最小的缺陷在晶圆或面罩。TENCOR CANDELA CS 20还配备了自动缺陷审查（ADR）资产,该资产能够识别用于图样放置的打印拒绝项和X/Y平移错误,并提供自动对晶圆的标线检查。此外,它还配备了图像分析软件,包括Auto-Align,以确保对齐精度和Imcover,以提供金属和非金属特征缺陷的覆盖图。该CS20是晶片和掩模检验的理想选择，并有可能将总缺陷水平降低40%。它可以快速识别、分类和映射缺陷,从而加快分辨率并减少错误警报。此外,该模型具有很高的可靠性,具有与最佳行业竞争对手相当的高吞吐量产量和缺陷计数。除了出色的性能外，KLA CANDELA CS 20设计为人性化，具有直观的图形用户界面，为用户提供了一种更容易检查、分析和修复晶圆或掩模上的缺陷的方法。总体而言，KLA/TENCOR CANDELA CS-20是一种用于掩模和晶圆检测的高性能可靠设备。其先进的光学设计和自动化系统提供了准确、高灵敏度的检查，能够及时修复缺陷，从而提高产量和生产吞吐量。用户友好的界面也使它易于使用，帮助降低成本和时间，即使是最复杂的检查任务。