二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #293605955 待售
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KLA/TENCOR Candela CS20R是一种用于精确测量和检测光掩模、IC布局和IC光刻缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统采用2048 x 2048像素检测器,为目前可用的任何修复分辨率掩码和晶圆检测仪提供最高分辨率。它还包括一个多轴扫描阶段,提供快速的检查和对准能力,以及一个高强度的灯头,以确保精确的测量。该机还配备了多种先进的过程控制,包括延迟时间和图像优化。KLA CANDELA CS 20R利用先进的光学和模式识别算法进行掩码修改、检查和晶圆表征。该工具采用新设计的金属氧化物半导体(MOS)正视图摄像头和后视图(way)摄像头。资产任务图桉化晶片具有亚像素分辨率,而金属氧化物半导体(MOS)正视图摄像机用于对准晶片,后视图摄像机提供晶片的精确测量。该模型还配备了一系列软件工具和专有算法,以确保检测设计中的缺陷,然后才能在晶圆上观察到它们。此外,设备支持使用自动缺陷识别和分类流程。TENCOR CANDELA CS-20 R有几个特点,有利于面膜修改和光刻操作。它的图像优化功能确保了标线的准确着色,而延迟和重迭扫描功能则确保了补丁的有效定位和扫描。其快速的检测速度为目前可用的掩模和晶圆检测提供了最快、最高的分辨率。该系统还与Windows和UNIX系统兼容,便于安装和使用。TENCOR CANDELA CS 20 R是一个可靠有效的掩模及晶圆检测单元,为光掩模、IC布局和IC光刻客户提供下一代结果。它旨在对缺陷进行快速检查和分类,而其先进的工艺控制和内置的纠正措施对IC制造中涉及的任何工艺都是有益的。该机器既稳定又经济,为掩蔽和光刻检查提供了经济实惠的解决方桉。
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