二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #293609511 待售

KLA/TENCOR Candela CS20R是一种在真空环境中运行的掩模和晶片检测系统，用于晶片和掩模的自动表征和缺陷分析。该CS20R具有300 mm的舞台,可实现高精度的样本对齐、阵列化以及顶视图和横截面图像的测量。其集成滤波器增强了成像保真度，使横向成像能够在宽波长范围内进行。该CS20R利用亮场和暗场成像技术来捕获掩模或晶圆表面的全方向反射率。通过荧光相关光谱（FCS）获取数据,以检测掩模或晶圆上的任何潜在缺陷,如划痕和蚀刻图样。系统的多光束LensEngine从顶部和底部视图图像获取数据。它已经优化了对比度、调性和模式识别在广阔的视野。该CS20R还配备了先进的数据采集和分析软件。它能够在很短的时间内分析大量数据,而且用户干预最少。分析产生的统计数字可用来作出决定，并就结果提供反馈。CS20R设计成密封的外壳。这有助于改善环境控制,并最大限度地减少灰尘、污垢和其他可能影响所收集数据准确性的元素的干扰。该CS20R的设计既可靠又高效。它可以快速检测口罩和晶片上的任何缺陷或不规则性，并为用户提供做出准确决策所需的数据。凭借先进的成像技术和软件能力，KLA CANDELA CS 20R是一种可靠且经济高效的掩模和晶圆检测系统。