二手 KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287 待售

ID: 9148287
晶圆大小: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8" Stains: 20um Dia, 10Å Thickness Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å Repeatability: CV ≤ 5.0% Illumination sources: 50 mW Laser 405 nm Wavelength Operator interface: Trackball Keyboard Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW Air pressure: 95~110 PSI Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20R是一种掩模和晶片检测设备,旨在可靠地发现单层和多层光掩模和晶片中的缺陷。该系统独特的3-D成像技术具有超锐利的光学器件和高达45 µm的分辨率,即使是最小的缺陷也能得到高度精确的检测。CS20R的核心是获得专利的500万像素CCD检测传感器。该传感器采用双光单元,结合了可见和红外照明,允许增强对比度和更好的缺陷检测。该机还具有比常规系统大45倍以上的大视野,使得大面积检查无需多次扫描。该CS20R还具有用户友好的软件界面,使工具的操作简单直观。它具有一套全面的模式识别和分析工具,使用户能够快速准确地扫描单层和多层样本。该CS20R还集成了用于特定任务的多个软件内核,例如缺陷分类、验证和审阅。除了技术先进的功能外,该CS20R还构建在功能强大且可靠的平台上,在繁忙的生产环境中提供异常可靠的操作和维护。它是为连续运行而设计的,这意味着几乎没有停机时间,并且资产可以通过一系列硬件和软件选项进行升级。总体而言,KLA CANDELA CS 20R是一个非常强大和可靠的面罩和晶圆检查模型。设备独特的3-D成像技术,加上其双光系统,可以检测到甚至最小的缺陷。该设备还构建在一个可靠的平台上,能够在繁忙的生产环境中进行可靠的操作,并配备了一系列自动模式识别和分析工具,使机器的操作变得简单直观。
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