二手 KLA / TENCOR Candela CS20V #9293251 待售

KLA/TENCOR Candela CS20V是一种掩模和晶片检验设备，旨在满足半导体制造中对掩模和晶片检验的苛刻要求。该系统采用先进的图像采集和处理算法，实现了前所未有的精度和可重复性。KLA CANDELA CS 20 V利用高分辨率成像技术对小至0.5 μ m的掩模进行成像。它结合了深紫外线（DUV）和可见光成像，使设备能够检测到刻蚀不足和过度的特征。成像光学器件针对最高分辨率和低噪声级别进行了优化,动态范围可达1000：1。该机利用先进的缺陷检测算法，准确识别了掩模和晶片上的缺陷。可以检测到小至0.2 μ m的缺陷,并且可以根据类型和大小进行分类。它通过缺陷优先级划分、自动阶段扫描和图像增强技术的组合,提供了错误警报的减少和增强的吞吐量。除了缺陷检测，TENCOR CANDELA CS 20-V还提供了广泛的过程表征功能。它提供了完整的晶圆地形分析功能，允许测量特征轮廓、薄膜厚度、步高和蚀刻深度。还支持高级临界尺寸（CD）测量,该工具能够测量和分析角圆、45°侧壁和过度蚀刻的特征。CANDELA CS-20 V专为易用性和鲁棒性而设计。它位于不锈钢外壳中,具有直观的用户界面,可定制菜单、易于访问的资产设置以及触摸屏显示屏。该模型具有可现场升级的组件，便于设备重新配置，并提供高度的模块化。KLA/TENCOR CANDELA CS 20 V是一种先进而强大的掩模和晶圆检测系统，设计用于最苛刻的半导体制造应用。它结合了高分辨率成像技术、先进的缺陷检测算法和过程表征能力，使设备能够提供高吞吐量和可重复性的高精度结果。