二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #293768827 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是专门为生产半导体晶片的精密光刻工艺而设计的先进的掩模和晶片检测设备。它将高分辨率晶片检测和缺陷审查结合到一个集成系统中，为晶片生产提供了更高的吞吐量和更快的上市时间。该单元利用先进的图像处理算法和掩码配准技术来识别缺陷并创建精确的度量，用于晶圆生产诊断。高分辨率彩色显示屏通过显微图像的彩色编码机器为用户提供有关缺陷的详细信息。KLA CRS 1010能够同时容纳多达6个口罩，从而能够快速检查和汇编缺陷信息。每个掩模都使用一个高分辨率的1.3万像素成像工具进行扫描,该工具可以检测到功能的微小变化（最低可达0.1微米）。然后,资产将掩码特征与已知缺陷的数据库进行比较,识别缺陷特征的模式并相应识别它们。TENCOR CRS 1010允许用户自定义自动缺陷审查过程，以满足其特定的生产要求。该模型还使用户能够以有组织、详细的方式查看所有检测到的缺陷,这些缺陷可以归档以备长期使用。CRS 1010的掩模和晶片检测能力超出了缺陷检测。该设备包括多种高精度测量系统，可测量表面特征，包括CD和间距尺寸均匀性，对产量评估至关重要。该系统还提供产量分析和相关特性，可以跟踪晶圆性能，并为改进过程提供可行的见解。KLA/TENCOR CRS 1010是寻求最大化效率和改进质量控制的半导体制造商必不可少的工具。KLA CRS 1010通过将精确、自动检查和审查与高精度测量功能相结合,可以帮助制造商确保其晶圆制造工艺尽可能高效和可靠。