二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9140524 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是一种掩模和晶片检测设备，设计用于对半导体晶片和掩模进行自动检测。该系统能够检测面罩和晶片上的各种缺陷，如光刻位移、桥接、线缘粗糙度、微桥、针孔和自然缺陷。该装置采用成熟的光谱仪，可见范围从380到750 nm，甚至能够检查最小的缺陷。此外,该机器还配备了灵敏的背光成像工具,能够以较高的信噪比对缺陷进行表征。KLA CRS 1010还配备了一个集成的晶片处理程序，用于真空室内的晶片加载、卸载和处理。这样可以准确放置晶片,并防止由于洁净室环境而造成任何污染。TENCOR CRS 1010还配备了高分辨率光学资产,允许在大视野上进行缺陷检查,长度可达8毫米,宽度可达16毫米。这样就可以检测到最小的缺陷。此外，CRS 1010能够并行检测口罩和晶片，大大缩短了检测时间。此模型能够在一次运行中检查多达四个晶片或掩码。再者，KLA/TENCOR CRS 1010具有扩展的图像处理能力，包括自动缺陷检测、识别和分类能力。这使设备能够快速准确地识别和分类掩模或晶片上的任何缺陷。最后，KLA CRS 1010设计为通过易于使用的图形用户界面操作。这使系统易于设置、操作和维护,并确保任何用户都可以充分利用其功能。总而言之，TENCOR CRS 1010是一个可靠而强大的掩模和晶圆检测单元，能够提供高度准确的结果。