二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9298930 待售

ID: 9298930
Defect review system, 8" 1998 vintage.
KLA/TENCOR CRS 1010是来自测量和检验系统领先供应商KLA的掩模和晶圆检验设备。该系统利用高分辨率成像和智能计量的高级功能,为用户提供全面、准确的检查和掩码评估。KLA CRS 1010旨在满足大批量生产环境的需求,能够递送大部分晶片,从单级蒙版到多级逆音蒙版。TENCOR CRS 1010的核心是其高分辨率成像单元。机器以高达1.25 µm的分辨率和不同角度捕获掩模和晶片的图像,从而确保检查结果的准确性。CRS 1010使用专利的电子束和X射线成像技术,准确测量掩模和晶片中特征的存在、缺失和布局。该工具还能够使用透射光或自动透射成像技术来检查模式布局的变化。KLA/TENCOR CRS 1010还包括复杂的计量功能,使用户能够测量特征的宽度和长度,使其达到设计布局的20%或更高。资产可以检测掩码和晶圆上是否存在针孔、凹坑和划痕,并且可以识别和标记源代码读出上的缺陷。KLA CRS 1010旨在以精确和速度处理单级和多级掩模和晶片。该模型能够同时询问多达32层的掩模,使其成为满足高批量生产要求的理想解决方桉。除了先进的成像和计量功能外,TENCOR CRS 1010还为用户提供了直观的用户界面和多项功能,以方便数据和信息管理。该设备允许用户使用直观的界面存储、查看和分析信息。系统还可以生成详细的报告,可以用来分析蒙版设计和修订的有效性。此外,该股允许整合外部系统,以促进数据共享和结果分析。CRS 1010是TENCOR为满足大批量生产环境的苛刻要求而开发的一款功能强大的掩模和晶片检测机。该工具为用户提供高级成像和计量功能,以确保检查过程的准确性和速度。此外,直观的界面和功能使信息易于存储、查看和分析,使其成为满足任何掩码和晶圆评估需求的理想解决方桉。
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