二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9382222 待售

KLA/TENCOR CRS 1010掩模和晶圆检测设备是一种最适合半导体制造工艺的自动化光学检测平台。该系统以先进的激光共聚焦成像技术为基础，能够对掩模和晶片基板上的微小结构进行快速、高精度的成像。KLA CRS 1010配备了一个200万像素的CMOS相机和一个大功率激光器，这两者都用于以非常高的放大倍率捕捉和检查图像。激光经过校准，在聚焦于预设分辨率的同时产生最佳光量。激光由单位单独跟踪监控，确保运行正常，不超过安全标准。TENCOR CRS 1010能够对单个晶片进行缺陷检测、污染物检测和颗粒分析。该机配备了模式识别和分类算法，可用于快速、准确地识别和分类缺陷。该工具还具有集成软件，可用于调整检查参数和阈值，以便在掩模/晶圆检查过程中进行真正的正负分类和数据分析。CRS 1010还包括自己的数据存储和通信解决方桉，使其能够作为整个掩模/晶圆检测过程的枢纽。它能够无缝集成到现有的操作和基础架构中,并拥有自己的检查算法和设备软件库。KLA/TENCOR CRS 1010具有直观的用户界面,易于编程和利用。它还可以适应许多不同的操作环境,并具有全面的计量包。这提高了它的灵活性和整体可用性，使它能够快速适应多个应用程序。最后,KLA CRS 1010的False Call速率极低,大大提高了产量。通过消除潜在的人为错误,资产提供了更大的操作统一性,并且可以检测和纠正低于Angstrom级别的缺陷。因此，TENCOR CRS 1010是用于掩模和晶圆检测过程的强大而可靠的工具。