二手 KLA / TENCOR CRS 1010 #9392790 待售

KLA/TENCOR CRS 1010是一种可以检测半导体晶片和光掩模缺陷的"掩模和晶片检测"设备。它利用先进的光学和图像处理系统来分析缺陷和材料的模式。KLA CRS 1010是一个全自动单元，利用多个组件提供全面的检查能力。主要组件有：光学成像机、运动舞台、摄像机和控制器。该工具还包含检查员的前端人体工程学界面以及用于控制和分析数据的用户软件。TENCOR CRS 1010捕获明场和暗场图像的光学资产由高放大显微镜、高精度电动直线级和灵敏的高分辨率数码相机组成。光学器件提供1.5微米分辨率，使模型能够精确检测甚至最小的缺陷。运动阶段允许高扫描速度，同时还控制显微镜的俯仰、侧倾和偏航，提供三维图像分析。CRS 1010的图像处理设备分析了缺陷和材料的模式，使系统能够提供可靠的缺陷分类和量化。控制器能够指挥摄像机和舞台，同时还处理图像采集和预处理、图像比较以及测试结果的存储。KLA/TENCOR CRS 1010的用户友好软件允许数据分析完全自动化，并向质量和过程控制应用程序报告。它还包括配方管理、实验设计的视觉辅助和统计过程控制等内置信息。KLA CRS 1010是一个高度可靠、精确的掩模和晶圆检测单元，能够高精度检测缺陷，使最终用户能够优化工艺能力。可靠的缺陷分类和量化有助于制造商显着降低与缺陷检测相关的成本,同时为报告和分析提供全面的可追踪性。