二手 KLA / TENCOR CRS 1010S #293830273 待售

KLA/TENCOR CRS 1010S是一种高性能的掩模和晶圆检测设备，旨在提供缺陷和非缺陷检测能力。该系统能够以无与伦比的速度和精度检查到0.2微米。它可以检测到各种各样的缺陷，如划痕、不均匀、颗粒和其他非均匀性。KLA CRS 1010S还为其他生产问题提供高精度检测，如滑移和倾斜、平坦度、镀铬层厚度和梯度。该单元结合了一些先进的组件，以提供极其可靠的结果。它的用户界面会自动创建存储在数据库中的用户定义校准数据,以确保检查的一致性和准确性。该机具有500 kHz的舞台摄像机明亮场和采用OneView技术的集成摄像机控制器,可降低图像噪声,同时提供卓越的图像质量和分辨率。该工具还利用最新的热交换相移技术提高相差测量的准确性，同时减少检查时间。此外，TENCOR CRS 1010S提供先进的晶圆和掩模分析工具，包括步高测量和干涉测量。通过其共焦的Igrade检测和分析功能,它可以识别边缘上的缺陷,以及小、微弱和/或清除缺陷,从而能够快速高效地纠正这些缺陷。对于工具到工具或技术节点到节点的比较，CRS 1010S还提供晶圆级迭加测量。这种技术和分析工具的组合使资产能够快速准确地处理数据,以帮助确保最高质量标准。KLA/TENCOR CRS 1010S非常适合检查下一代掩模和晶圆技术以及各种设备制造基板。该模型为掩蔽、计量、模具粘合和光刻提供了卓越的性能。先进组件、技术和分析工具的强大组合使该设备能够提供检查掩模和晶圆组件的最高精度和速度。