二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293595655 待售

KLA/TENCOR CRS 2000是一种用于检测任何类型缺陷的掩模和晶圆检测设备。利用4个不同角度的亮场和暗场照明来提供晶圆或掩模的整个表面积的完整视图。然后,系统将存储每个缺陷的图像,并提供有关每个缺陷的确切大小、性质和位置的详细信息。此外，KLA CRS 2000还可以提供关于发现的每个缺陷的数量和大小的详细报告，并可以检测样品中的污染物。TENCOR CRS 2000提供各种特定于任务的查看模式,并具有自定义参数的能力。这些模式包括Brightfield和Darkfield模式,这两种模式均可用于检测表面地形。Sub-micron缺陷检测是通过特殊的"缩放"模式启用的,它可以放大到高达5000倍的分辨率。CRS 2000还具有识别颗粒、污染物和边缘缺陷的先进算法。此外，自动扫描和检查使设备能够在不到一小时的时间内快速扫描多达170个晶圆。对于用户来说，KLA/TENCOR CRS 2000包括一个综合软件包来控制机器、处理和分析数据，以及一个用户友好的图形界面来访问所有功能。此界面包括数据记录、报告生成、警报设置和掩码编辑器。KLA CRS 2000还支持与其他KLA系统之间的数据传输,以便于检查和审查。所有结果都可以在统计表中显示,或导出为标准ASCII格式。该工具的高级MultiTask软件包还提供了诸如面积、密度、粗糙度和斜率检测等高级分析功能。内置算法用于根据各种标准对缺陷进行分类和分组，从而能够快速准确地确定缺陷位置。此外，该软件还可以生成包括统计摘要等详细信息在内的综合报告。TENCOR CRS 2000是需要详细测量晶圆和掩码的应用的理想工具。它提供了对各种规模和地点的缺陷和污染物的准确检测，以及全面的报告和分析功能。CRS 2000具有易于使用的操作员界面，是一种可靠、经济高效的掩模和晶圆检测资产。