二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293615914 待售

ID: 293615914
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
Defect review inspection system, 6" 2001 vintage.
KLA/TENCOR CRS 2000是一种掩模和晶圆检测设备,为一系列应用提供先进的成像技术和卓越的计量精度。它使用户能够在整个供应链中扩展其生产能力并改进质量控制。在其核心,KLA CRS 2000是一个高性能的镜头系统,收集蒙版和晶圆基板的图像。该单元具有双高孔径(NA)目标,提供了更好的分辨率,更大的聚焦深度和更大的景深。透镜机能够达到检测器原生分辨率的25倍,非常适合高分辨率的检测需要。此外,TENCOR CRS 2000还具有高速扫描模式,允许用户以每秒15帧的速度快速捕获图像。CRS 2000具有多种用于掩模和晶圆基板成像的探测器。这包括用于广域成像的背光CCD,以及用于微小缺陷高分辨率成像的GaAs和SiC探测器。高分辨率探测器专为高效、低噪声和快速曝光时间而设计,为用户提供惊人的图像质量和准确性。KLA/TENCOR CRS 2000也有几种强大的检测能力。该工具能够检测最大0.2微米大小的缺陷,从而确保检测到最小的缺陷。它还具有获得专利的表面特征算法,使用户能够快速、准确地检测小至0.02微米大小的特征。此外,该资产还具有内置缺陷图库和功能强大的自动识别算法,使复杂的缺陷表征和检查变得容易。KLA CRS 2000还具有高精度级,为用户提供了精确对齐和扫描晶圆和掩模基板的能力。该模型包括线性和旋转两个阶段,允许用户精确定位和定向其基板。这使用户能够进行更高效、准确和精确的检查。总体而言,TENCOR CRS 2000是一种先进的掩模和晶圆检测设备,为一系列工业应用提供卓越的图像分辨率和卓越的计量精度。它具有强大的检查功能,能够检测到最小的缺陷。此外,该系统还具有精确定位和定位的高精度阶段。最终,CRS 2000对于任何需要最先进的检查解决方桉的用户来说都是理想的选择。
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