二手 KLA / TENCOR CRS 2000 #293627297 待售

KLA/TENCOR CRS 2000是一种用于检测先进半导体制造工艺中的关键缺陷的掩模和晶圆检测设备。利用高分辨率光学计量学和专家缺陷识别算法的优势，将缺陷精确地检测和分类到亚微米级。这种功能强大、功能齐全的系统能够感测每个晶圆和掩码的顶部和底部几何形状,同时应用一系列软件定义的过程自定义,以确保最大程度地覆盖缺陷和准确性。该单元包括一个先进的晶圆监控软件包，使用户能够在整个生产过程中监控、分析和预测晶圆水平和层完整性。该机器配有先进的成像硬件模块,可以检测和测量亚微米范围内的缺陷,从而使用户能够检测通常丢失的不可见缺陷。此外,它还可以检测同一晶圆的多层缺陷和异常,以及周围区域可能出现的任何缺陷。KLA CRS 2000使用具有可自定义参数的已知缺陷区域库来检测甚至最微妙的缺陷形式。此外,它还使用强大的分析工具来捕获图像,实时显示图像,并在检查过程中比较和对比每个图像。TENCOR CRS 2000还配备了集成激光工具，快速提供多芯片的对准和掩码配准，确保了一致的缺陷检测和可重复性。最后,CRS 2000提供了一系列自动化解决方桉,以简化流程并提高吞吐量和盈利能力。资产可以自动检测缺陷，减少人工检查时间，并调整每个晶片的照明和模型设置，以减少错误缺陷率，并允许可靠、可重复的结果。综上所述，KLA/TENCOR CRS 2000是一款功能强大、先进的掩模和晶圆检测设备，能够满足现代半导体制造工艺的严格要求。它利用高分辨率成像功能、专家缺陷识别算法和自动化解决方桉的强大功能,为用户提供准确的结果、可重复性和改进的吞吐量。