二手 KLA / TENCOR CRS 3000 #9137166 待售

KLA/TENCOR CRS 3000是一种掩模和晶片检测设备，设计用于检测半导体制造过程中光刻和蚀刻造成的缺陷。它用于检查半导体掩模和晶片的特征如圆度、边缘轮廓和其他几何图样。该系统使用最先进的高端光学设备和技术以及先进的光学、光源和成像软件。检测光学器件将高分辨率航拍影像与一系列专用聚焦级相结合。这样可以快速准确地评估缺陷特征,例如音调细节、间距和对比度。该装置还具有一个巧妙的铰接6轴晶圆对准机，从而提高了检测过程的速度和准确性。工具的扫描仪可以放大感兴趣的特征，以便进行更详细的检查。此外，高速图像处理器被集成到资产中，进一步提高了检测过程的速度和准确性。KLA CRS 3000可以检测尺寸小至5纳米的缺陷，灵敏度高达100%。该模型还有一个晶圆图覆盖，它允许一个额外的水平缺陷检测。TENCOR CRS-3000的检测监控能力包括跟踪级控制和测量限制。在自动化方面，设备高度自动化，可以配置为检查各种晶圆尺寸。系统也可以使用其随附的软件包操作。用户界面人性化、直观，可以快速准确地解读检验结果。CRS-3000是一种高效的掩模和晶片检验装置，采用最新技术设计，以达到最高精度和速度。其集成的光学和图像处理器使其成为业界最可靠的工具之一，使半导体制造商能够快速准确地识别和解决缺陷。