二手 KLA / TENCOR CRS 3100 #9207492 待售
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ID: 9207492
优质的: 2002
Review station
Power supply: 1 Phase, 24 A, 220 VAC, 60 Hz
Maximum ampere: 10000
Maximum load: 12
2002 vintage.
KLA/TENCOR CRS 3100 Mask&Wafer Inspection Equipment提供了一个高性能的解决方桉，用于检查和分析半导体晶片的高通量生产线。这种自动检查系统利用高灵敏度成像技术，以极高的精度和清晰度识别晶圆表面上的微缺陷。此外，KLA CRS 3100单元还允许进行复杂的模内审查和分析，以检测隐藏在晶圆盘内的孤立微缺陷。TENCOR CRS 3100机的核心是提供晶圆盘高度灵敏全反射成像的专用光学组件，以及以顺序捕获模式捕捉晶圆表面多幅图像的CCD相机。CRS 3100工具在可以检查的晶片类型上也具有灵活性，因为它可以以同样高的精度和精确度同时支持slicon和砷化铵晶片磁盘。本产品还包括分辨率为1.5微米的先进6轴万向节定位资产，允许晶片在光学级高度精确对准。KLA/TENCOR CRS 3100型号还能够通过光学故障检测（OFD）检测晶圆盘，以识别晶圆顶部表面的缺陷。该OFD模块利用独特的先进传感技术来优化和提高缺陷检测灵敏度，甚至检测微小缺陷。此外，该设备还采用自动FE-SEM采样系统，利用电子显微镜技术对晶片表面受损层进行电化学蚀刻，进一步进行缺陷分析。最后，设计了KLA CRS 3100单元，以最大限度地提高晶圆盘检测过程的吞吐量。它配备了先进的用户界面，方便设置和输入检验参数，提供全面的、自定义定义的检验配方。此外，该机还提供了非常低的停机时间，允许用户快速高效地调整检查参数，并对其进行优化，以达到最大精度和速度。凭借这些创新的特点和先进的规格，TENCOR CRS 3100 Mask&Wafer Inspection Tool被定位为先进半导体晶圆检测的顶级解决方桉之一。
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