二手 KLA / TENCOR CV300 #9244817 待售
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ID: 9244817
Wafer edge inspection system, 12"
Non functional parts:
Computer
Laser head
Robot
2009 vintage.
KLA/TENCOR CV300是一种高度先进的掩模晶圆检测设备，提供高质量的半导体工艺控制和领先的光学检测技术。系统的多阶段检测过程使其能够在不到一秒的周期时间内检测晶片，从而能够快速检测和诊断缺陷。它的检测技术是CMOS工艺控制的理想选择，因为它能够检测和评估从纳米到亚微米及以后的多个尺度的特征。KLA CV 300的光学检测单元是其过程控制套件的组成部分，具有多光谱成像机、高放大光学、基于图像分析算法的自动缺陷分类，最大缺陷分辨率。该工具还利用先进的KLA粒子检测技术来分析从100 µm到20 nm的粒径。此外,它还包括迭加测量、模具级计量和表面缺陷扫描等功能,所有这些功能均可用于进一步改进缺陷检测和分析。TENCOR CV300还拥有一系列高级资产功能,例如自动校准过程、用户友好界面、全面的测量报告和高效的数据管理工具。它包括用于显示和控制过程数据的软件,以及用于关键缺陷设备匹配、数据分析和过程优化的工具。掩码和晶片检查模型是为最大程度的模块化而设计的,允许一系列配置选项来满足特定的工艺需求。其用户友好的特点和坚固的设计使其具有很高的可靠性，而其高精度的光学和粒子检测机制则使晶圆和模具级检测达到亚微米级。综上所述，CV300面膜晶片检测设备是一种用于过程控制和检测的多合一解决方桉。凭借先进的光学、粒子检测和多尺度的检测能力，它旨在简化过程控制，减少过程步骤，同时保持精度和速度的最高质量标准。
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