二手 KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262239 待售

ID: 9262239
KLA/TENCOR DFIMS SP1处理器是一种全自动的掩模和晶圆检验系统,旨在帮助制造商在缺陷到达生产线之前识别和纠正缺陷。该系统与KLA软件和硬件工具无缝集成,可轻松集成到现有的生产环境中。系统使用高级专有算法自动识别和分类模式缺陷,并在半导体生产过程中对其进行监控。用于SP1的KLA DFIMS处理程序的主要组件包括掩模检查模块(MIM)和晶圆检查模块(WIM)。MIM集成了独特的模式搜索、模式识别和缺陷分析,以快速准确地检测和分类掩模图稿中的缺陷。它在小于500 nm的掩码坐标上提供高性能和高精度,可同时使用Gray-level和Binary掩码。WIM会自动检查晶片上的图样缺陷,每秒最多30个标线,并具有可调节的视觉设置。它基于TENCOR自主控制算法,还可以检测和分类晶圆表面的光学缺陷。此外,TENCOR DFIMS Handler for SP1还提供了一系列其他支持功能,如晶圆支持模块、高级视觉选项、缺陷库创建、缺陷覆盖经济性和交互式数据库管理。晶片支持模块提供了从制造商收到晶片到处理程序检查晶片的本地化实时跟踪能力。先进的视觉选项(如Logarithmic Vision、Dispersion Vision和FFT vision)为制造商提供了全面的检查功能,而缺陷库的创建和缺陷覆盖经济性简化并自动化了验证掩码和晶片的过程。最后,交互式数据库管理功能使用户能够根据需要轻松访问、管理和更新其数据存储库。用于SP1的DFIMS处理程序是大批量生产环境中掩模检查和晶圆分选的理想解决方桉,因为它为制造商提供了确保其产品按时、零缺陷地进入市场所必需的可靠性和准确性。它是一个经济高效的解决方桉,旨在确保在掩模和晶圆检查方面的最大效率和可靠性。
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