二手 KLA / TENCOR eDR-5200 #293651675 待售

ID: 293651675
Defect review Scanning Electron Microscope (SEM).
KLA/TENCOR eDR-5200是一种功能强大、精密的面膜和晶片检测机器。该设备利用自动化算法和世界级光学技术实时分析掩模和晶片的微观特征,从而实现一致和可靠的结果,同时最大限度地提高吞吐量。KLA获得专利的1-2微米成像技术是KLA eDR-5200的核心,允许系统将高分辨率图像收集到其软件平台中。该设备的高级自动化算法可检测、识别和分析到纳米级以下的缺陷,并可进行非侵入性缺陷检查和审查,从而消除偏差。机器的综合成像能力涵盖了广泛的数据点,产生了一个综合的结果库和实时评估。此工具还包括专为检测唯一故障和确保识别所有潜在缺陷而定制的专用算法。TENCOR eDR-5200还提供了一个集成的交互式报告资产,可以进行详细的缺陷分析和验证。除了提供数字化数据库创建、图表绘制和比较功能外,它还通过提供具有自动缺陷分类功能的检查结果的完整披露来做到这一点。使用eDR-5200,用户可以通过为各种缺陷类型分配重要的权重、指定检查监视器以及在过程的任何阶段进行审查来优化和定制其检查过程。TENCOR还包括用户友好的验证和报告功能,允许用户仅单击几下即可创建自定义的分析报告。KLA/TENCOR eDR-5200也可以编程为自动检查,从而无需手动输入数据。此外,该模型还能够检测局部小缺陷并确定其确切位置,以便进一步诊断和修复。KLA eDR-5200进一步支持各种掩码和晶片配置,其专用光学器件可实现从一个基板到另一基板的精确和高速检查。此设备独特的体系结构旨在确保长期的可靠性、准确性和可重复性。KLA/TENCOR对质量和客户驱动的创新的承诺体现在TENCOR eDR-5200中,使用户可以在检查和分析中享受最高级别的性能。
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