二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293639990 待售
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KLA/TENCOR eDR-5210是一种高速、高精度的掩模和晶圆检测设备，旨在满足半导体器件制造商的需求。KLA eDR-5210结合了KLA先进的图像处理技术,提供卓越的性能和功能,可确保在所有类型的设备上精确检测缺陷和精确调整尺寸。系统使用TENCOR光子成像单元（PIS）技术的变体来确定缺陷的大小、形状和性质，可以检测到小至22 nm的缺陷。机器的核心是双照明器，允许同时进行SIMS（扫描电子显微镜和离子束）和电子束透晶片（TW）检查。高分辨率光学器件可以提高精度、更精细的特征定义和卓越的边缘检测。TENCOR EDR 5210还提供了自动缺陷检测（ADD）算法,该算法允许快速分析,确保检测到困难和隐藏的缺陷。此外,TENCOR eDR-5210具有先进的数据共享、分析和报告功能,允许对操作员/检查员的决策进行快速和质量缺陷分类。该工具还提供自动制图,允许进行高效的生产检查。GUI和全面的应用程序编程接口（API）提供了与主机的无缝集成,从而实现了无忧操作。为确保图像质量,KLA/TENCOR EDR 5210能够保留总共15组具有高分辨率图像的晶圆映射,以及其他各种高级功能。这些特性包括8位数字输出能力、自动舞台原点识别和防振隔离板，以减少因振动造成的图像移位。最后,eDR-5210上的先进技术和功能确保了该资产能够达到最高性能标准,并保证了卓越的缺陷检测。凭借其全面的图像处理工具和直观的设计，该模型是满足半导体器件制造商先进需求的理想解决方桉。
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