二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755072 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是一种自动掩模和晶圆检测设备，设计用于检测半导体材料表面的缺陷。它是一个特定于应用程序的系统,旨在快速扫描和检测晶圆表面的缺陷,从而提供一致、可重复和可靠的结果。该单元提供卓越的性能,并利用一套强大的检测算法来检测广泛的潜在缺陷,包括反射率、移位、空隙、形状错误的芯片边缘和划痕。该机器使用12英寸投影光学工具,根据所检查材料的性质,对低至4微米的特征和一系列对比度进行超图描绘。光源包括绿色LED （550 nm）和蓝色LED （450 nm）以实现操作灵活性。资产的目的是识别任何异物，评估晶圆表面的潜在缺陷。KLA eDR-5210还具有高速、多轴运动模型，线性行进速度为20 m/s。自动对准光学器件最大限度地减少了反向散射和散射光,使其能够在整个表面准确快速地移动,甚至可以检测到丝毫缺陷。它可以从上到下快速扫描整个晶片表面，甚至可以检测到正负极性缺陷，这一特性有助于减少后处理时间。该设备还能够优化各种成像技术，包括高分辨率边缘检测、对比度增强和缺陷检测。通过其先进的成像技术，TENCOR EDR 5210能够为改进决策和资源利用提供准确的信息。此外，它的全自动操作降低了人工检查的人工成本。总体而言,TENCOR eDR-5210是一个自动化的、特定于应用程序的系统,通过提供更高的吞吐量、全面的缺陷覆盖范围和始终如一的可靠结果,为半导体行业的制造商提供了显着的优势。其强大的检查算法和成像技术范围确保了最高水平的准确性和性能。