二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #293755073 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是利用三维相干照明技术进行高精度缺陷检测的掩模和晶圆检测设备。该系统设计用于半导体制造环境，提供了广泛的检测能力。它既适用于前沿设备，也适用于传统设备，可用于生产和研究目的。该单元由装有大幅面镜头的1300万像素图样彩色CCD相机组成。这将捕获定位设备的图像并将其传输到主控制单元。该机器具有用户友好的图形界面和直观的设置选项,使操作员能够快速调整参数以进行缺陷检查和测量。它还为图像校准和测量以及缺陷分类提供了强大的自动化功能。KLA eDR-5210配备了集成的3D相干照明工具。此功能利用了获得专利的"MODLESS"扫描技术,该技术旨在显着提高缺陷检测和分析能力。此外，该资产能够同时捕获相位图像和暗图像，同时保持一致的照明水平。该模型还配备了一套全面的缺陷分类算法，以保证准确性。这包括表面缺陷分类算法、成像对比度增强技术、自动特性跟踪和评估、亮度增强策略以及子分辨率特征分析。此外,每个缺陷图像都具有指定的缺陷类别和缺陷严重性。最后,TENCOR EDR 5210设备提供了卓越的灵活性和可扩展性。它可以轻松配置以解决不同类型的任务,并且可以适应自定义解决方桉的需要。此外,它还可以与其他软件系统集成,用于数据管理、报告和缺陷分析。总体而言,TENCOR eDR-5210是一种先进的、精确的掩模和晶圆检测系统.它利用三维相干照明和专利MODLESS扫描技术，提供卓越的缺陷检测精度和可靠性。此外,该单元还提供了一个全面的缺陷分类分析机和卓越的灵活性和可扩展性.这使得它成为半导体工业生产和研究的绝佳选择。