二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9075254 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是一种用于大批量生产先进半导体器件的掩模和晶圆检测设备。KLA eDR-5210旨在以高度可靠和高效的方式提供快速、准确的缺陷检查。该系统采用一种创新的光学晶片扫描（OWS）技术,检查每个设备的顶部和底部表面,为研究人员和制造人员提供更好的产量和过程控制。TENCOR EDR 5210能够检测多种类型的缺陷，包括缺失特征、短裤和颗粒物污染。该单元配备了高质量的光学和照明、精密扫描机构以及数字处理硬件。它可以区分有效缺陷和无效缺陷，而它的顶级缺陷审查显示让科学家和工程师以非凡的精确度识别微小特征。KLA/TENCOR EDR 5210还具有精确旋转功能,可精确测量角度和补偿倾斜误差。当检查更复杂的结构（如遮罩层不对齐和临界光刻变化）时,这种临界精度是必要的。强大的EDR 5210也是高度可定制的。它可以配置各种硬件组件,以及硬件和软件升级,以满足个人性能需求。KLA EDR 5210还包括端点分析、扫描平均、重复扫描等自动化操作模式，优化吞吐量速率，提高产量。此外,高级故障分析功能使客户能够分析每台设备的性能并确定设备退化的根源。EDR-5210台机器旨在为检查最复杂的半导体器件提供经济高效的解决方桉。凭借其精确的光学技术、快速的扫描速率和高度可定制的设计,TENCOR eDR-5210是任何想要确保产品质量和可靠性的半导体制造商的最佳解决方桉。