二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9112888 待售

KLA/TENCOR eDR-5210是一种掩模和晶片检测设备，设计用于检测光掩模和晶片的缺陷和异常。该系统由三个主要组成部分组成：eDR-5000扫描仪、eDR-5400晶片检测阶段和先进的K3成像单元。eDR-5000扫描仪是机器的心脏，提供捕捉每一个缺陷所需的高分辨率成像。它利用高精度光学和高度敏感的相机来捕捉正负光掩模上缺陷的全焦平面图像。扫描仪的模块化设计易于修改,以适应各种可用的掩模尺寸和类型。eDR-5400晶片检查阶段是一个自动化工具，允许扫描仪同时处理多个晶片，一次最多24个。它旨在识别晶片的大小、类型和方向,以便于晶片加载。此外,它的高吞吐量允许自动捕获每个晶片上的图像,从而确保阵列化晶片和无图案化晶片的完全覆盖。最后，K3成像资产是分析和识别晶片缺陷的模型的组成部分。这种先进的成像设备能够快速准确地处理大型数据集,以检测各种类型的缺陷,包括粒子、空隙、线缘和线宽变化、缺失特征以及其他差异。它还具有区分相似特征的能力，以减少误认的可能性。KLA eDR-5210系统旨在提供高分辨率成像和快速分析光掩模和晶圆缺陷。它的模块化设计和自动化阶段使设备能够一次快速处理多达24个晶圆。该机先进的成像工具能够准确、快速地检测各类缺陷，确保可靠的效果，提高生产效率。