二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9278887 待售
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ID: 9278887
晶圆大小: 12"
Defect review SEM, 12"
SMC Thermo Chiller
Power supply CONE RC
Handler:
(2) Load ports / Fix load
BROOKS Robot and aligner and controller
Aligner:
OXFORD 51-1100-109 Dry cool monitory
OXFORD 51-1100-108 Dry cool control
INCA 51-1100-103 X-Strear
Main body:
OXFORD INCA DOL7967 Dry cool
EDWARD Turbo Molecular Pump (TMP)
VARIAN Ion pump
Control rack:
VARIAN Ion pump controller
EDWARDS STP-301-U DOC TMP Controller
TMC DC-2000 Precision valve controller
(2) Reset power supplies
High voltage power supply
Motion controller
Main PC
Does not included Hard Disk Drive (HDD)
Power distribution.
KLA/TENCOR eDR-5210是一种用于半导体生产的掩模和晶圆检测设备。它旨在检测和分析晶片中的缺陷以及其他掩模级精度缺陷。该系统能够处理直径不超过200毫米的晶片和各种各样的掩模类型。该单元的主要部件包括光学检测机、晶圆映射阶段、数字图像识别算法和集成计量控制台。光学检测工具是一种高分辨率的高光谱成像资产，它捕获晶圆表面的图像。晶圆映射级是一种多轴定位模型，可以精确测量晶圆的表面。图像识别算法用于识别和分类任何缺陷。最后，综合计量控制台提供了数据的最后审查，以确保准确性。KLA eDR-5210配备了多种高级功能以提高生产率。此外，该设备设计方便安装和维护，使其成为半导体生产线的绝佳选择。TENCOR EDR 5210提供了广泛的应用，从面罩检查和缺陷分析，到光刻模具的检查和审查。它具有高质量和可靠的图像捕获功能,是检查口罩和晶片的绝佳选择。该系统是高效的，并提供精确的结果。图像识别算法和计量控制台也保证了精度。KLA EDR 5210是半导体生产中检测分析口罩和晶片的绝佳选择。它具有高度精确的图像捕获和一系列高级功能,是当今市场上最可靠的系统之一,强烈建议您以最佳的工作效率。
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