二手 KLA / TENCOR eDR-5210 #9397336 待售

KLA/TENCOR eDR-5210掩模和晶片检测设备是一个先进的计量平台，旨在提供高分辨率缺陷检测和高级光掩模和晶片图样的深入分析。它是一个多模式系统，能够在明场和暗场照明中工作，能够高对比度成像，并使用标准的商业暗场、环场和线性偏振模式。专用算法功能进一步促进了光掩码、标线和晶圆图样的无缝缺陷检测和分析。该单元具有最大50厘米的场尺寸和0.05 µm的成像分辨率以及1 µm的检测步长，使其成为市场上分辨率最高的系统之一。配备主动自动对焦能力、自动舞台机、先进照明系统和自动蒙版检索处理能力。此外,该工具还配备了先进的CMOS成像检测器,可确保更快的操作和更好的散粒噪声性能。KLA eDR-5210还包含功能强大的高级基于AI的算法,可帮助分析图像以检测不同类型的缺陷。此外,该资产还提供了多种高级分析和报告工具,使用户能够快速轻松地可视化和记录缺陷数据。总体而言，TENCOR EDR 5210掩模和晶片检测模型为光掩模和晶片图样的检测提供了一个全面的解决方桉。它结合了强大的算法和先进的成像分辨率,确保了用于缺陷检测和分析的可靠设备。