二手 KLA / TENCOR eDR-5210S #9269303 待售

KLA/TENCOR eDR-5210S是为高通量计量应用而设计的全自动掩模和晶圆检测设备。KLA eDR-5210S提供卓越的光学性能和自动缺陷检测,用于检查掩模和晶片。该系统可以检查尺寸不超过3.5纳米的图样，图像分辨率高达2000万像素。该单元具有自动化的多级镜头机，提供大视野和非常高的数值光圈。这使得在检查掩模和晶片是否有缺陷时具有很高的准确性和分辨率。TENCOR eDR-5210S利用600W高强度LED光源和250 nm至1750 nm的可调光波长检测缺陷。该工具使用多个同时曝光和高级图像处理算法来检测缺陷，即使在非常低的光照水平。自动化检查过程包括掩模和晶圆定位、光学测量、图像处理和数据分析，减少了检查所需的总体时间。EDR-5210S设计用于执行快速可靠的检查,即使在低信号到噪声水平下也是如此。图样识别、Q因子检测等图像处理算法，结合强大的照明能力，使资产能够快速检测到掩模和晶片上的亚微米缺陷和其他缺陷。该型号还具有用户友好的GUI和直观的界面,便于设置和操作。KLA/TENCOR eDR-5210S是一种通用的检测设备,旨在提供高通量计量,以确保无缺陷的掩模和晶片。该系统能够检测到低至3.5纳米的缺陷，分辨率和精度都很高。自动化的检查过程加上先进的图像处理算法和强大的照明能力，可以快速可靠地检测缺陷。用户友好的GUI界面使设备的设置和操作变得简单明了。