二手 KLA / TENCOR EFEM #9276613 待售

KLA/TENCOR EFEM是一种面罩和晶圆检测设备，旨在提高质量评估的准确性和效率。具体而言，系统通过利用实时检测晶片缺陷的自定义算法，简化了半导体晶片和掩码的完整性和均匀性验证过程。该单元采用自动化和手动检查功能,包括面积产量分析、精确计数、平面度和均匀性检查,使用户能够快速识别和解决任何缺陷。KLA EFEM还提供高级缺陷分类功能。此功能允许机器同时检查晶片上的多个掩码,并对多达25种不同的缺陷类型类别进行分类。TENCOR EFEM还提供强大的计量能力。使用高分辨率成像工具，资产能够测量线宽和CD差异，精度为5nm，检测2.5um及以下的小颗粒。它还具有多采样算法来检查线边缘粗糙度和桥/岛大小。EFEM能够检查多种格式，包括多层面膜和基板、不同类型的标线以及各种包装要求。利用其高分辨率成像模型，设备可以检测到缝合和光刻偏差等几何误差，以及沉积图样和材料的误差。此外,系统还可以执行光学检查,例如衍射测试,以进行分辨率检查。再者，KLA/TENCOR EFEM具有开放平台，兼容Windows、Linux和Mac OS操作系统。总体而言,KLA EFEM是用于掩模和晶片检查的功能强大且用途广泛的工具,可提供强大的自动化和手动检查功能以及高级计量功能,以确保准确性和效率。