二手 KLA / TENCOR EFEM #9278728 待售

KLA/TENCOR EFEM是一种掩模和晶片检测设备，设计用于检测掩模和晶片关键层的缺陷。该系统基于电子束自由形状检测法，或KLA EFEM。TENCOR EFEM是晶圆和掩模检测的一种创新方法，在检测过程中不需要光学投影。取而代之的是，它使用聚焦的电子束来检查掩模和晶圆。这种电子束区分不同类型缺陷的能力范围很广。EFEM单元由几个组件组成。该机包括电子束源、光学、信号检测分析工具、资产控制板。电子束源被设计为产生一束具有聚焦束轮廓的高能电子束。然后将该束定向到掩模或晶片上的特定点，这使得聚焦的电子束可以检查掩模或晶片上的特定特征。光学元件由一组透镜组成，这些透镜将光束聚焦到掩模或晶片上，从而能够精确地成像特征。信号检测和分析模型负责解释电子束产生的图像，使其能够检测到掩模或晶圆缺陷的存在。控制板是设备的大脑.它允许电子束通过控制电子束偏转、束速率和其他参数设置，精确定向到掩模或晶圆上的特定特征。控制板还提供系统与其操作员之间的接口。已证明KLA/TENCOR EFEM单元在掩模和晶圆检测方面非常可靠。它以非接触和无损的方式实现高分辨率功能。此外，它还具有区分不同类型缺陷的优异缺陷检测能力。KLA机已成为众多半导体制造设施的热门选择，提供可靠的检测结果和改进质量控制。