二手 KLA / TENCOR es20 #9093683 待售

KLA/TENCOR es20是一种掩模和晶片检测设备，可用于检测硅片中的缺陷。借助高分辨率图像传感器和自动缺陷分类，KLA es 20甚至可以精确检测非常小的缺陷。系统使用亮场照明和图像传感器来捕捉晶圆及其缺陷的白光图像。然后由缺陷分类引擎处理这些图像,该引擎将删除假阳性缺陷检测,并为每个缺陷分配分类类型。该装置采用专利缺陷分类引擎，可检测CD、高度、掺杂剂和颗粒缺陷等多种缺陷类型。TENCOR es 20采用8英寸晶圆处理机，1600x1200分辨率CCD图像传感器。该图像传感器的最佳数值孔径为0.39，像素大小为0.04微米，提供9微米的图像分辨率。缺陷分类引擎使用高级算法和模式识别技术的组合，准确识别缺陷并分配分类类型。它的实时功能允许用户识别缺陷的实际结构，从而允许更快的缺陷分类。Es20还采用了高级无掩码修复（AMR）技术,能够自动修复检测到的缺陷。该工具使用聚焦离子束（FIB）来去除缺陷,允许自动修复缺陷,而无需昂贵的掩模集。KLA/TENCOR es 20具有融入预先存在的生产线的灵活性。资产利用了一些流程数据输入，包括显示、控制、通信和计量数据。这使操作员能够轻松配置模型参数，并针对不同的缺陷条件和晶圆配置自定义其操作。综上所述，KLA es 20是一款功能强大的掩模和晶圆检测设备，能够通过其高分辨率图像传感器和自动缺陷分类引擎检测小缺陷。它的高级功能（如AMR技术）允许用户自动修复检测到的缺陷,而无需昂贵的掩码集。该系统可以灵活地集成到预先存在的生产线中,这也使其成为许多半导体制造商的理想选择。