二手 KLA / TENCOR es20 #9198565 待售

KLA/TENCOR es20是半导体工业中使用的一种掩模和晶圆检验设备。该系统提供高分辨率、高速和自动检查光掩模和晶片的精度和可重复性。KLA es 20型号是KLA流行es 10单元的升级，旨在满足业界要求最苛刻的面罩和晶圆检测需求。该机具有一个固定视场的光学投影柱，能够容纳100毫米，200毫米和300毫米直径的晶圆。该工具还配备了高性能CCD摄像头，从晶片中捕捉图像，分辨率为每帧12.3百万像素。晶片由红色LED阵列照明,以便收集被检查的掩模或晶片反射的光。资产还包括许多工具，如可编程缺陷模式、自动对齐模型和焦点检测设备。检查系统利用一系列软件算法来识别和分类掩模或晶片上的缺陷。这包括利用光谱学检测掩模或晶圆表面的颗粒和晶体。该单元还能够区分单线和多线缺陷，以及检测表面以下的缺陷。TENCOR es 20模型设计用于快速可靠的缺陷检测，包括晶圆和器件级缺陷如刮痕和凹坑，以及屈服冲击特征如针孔、空隙和颗粒。此外,机器还配备了各种过滤器和工具,用户可以通过多种方式分析和处理获取的数据。这包括使用图像处理来增强图像和识别缺陷,以及生成3D图像以描绘无缺陷掩码或晶圆的能力。总体而言，es 20掩模和晶片检测工具是一种创新的先进解决方桉，可满足关键的掩模和晶片检测需求。该资产结合了先进的图像捕获技术、软件算法和各种工具,使其非常适合快速可靠地识别和评估缺陷。KLA/TENCOR es 20机型凭借其高分辨率和准确性、自动化检测技术以及快速缺陷检测能力，是希望将其掩模和晶圆检测提升到最高水平的半导体制造商的理想选择。