二手 KLA / TENCOR es20xp #188080 待售

KLA/TENCOR es20xp是一种最先进的掩模和晶圆检测设备。它是一个模块化系统，可以配置用于多种操作模式，以检查多种类型的掩码和晶圆。它利用先进的算法和硬件进行高速计量检查，以提高吞吐量，并提供高度可靠和准确的结果。该单元由扫描仪头模块、光学器件、测量机和软件控制工具组成。扫描仪头模块装有偏转瞳孔或远心光学器件，可进行角度和平面成像。光学和测量资产是自动化的,使用串行测量。它包括一个图像增强器和光度检测器，用于检查掩模和晶片的弱信号。这些检查领域还配有频闪照明模型和彩色滤光片，以避免图像被冲刷。软件控制设备支持检查员编码、多图像采样和快速图像处理等多种功能。它具有异步设计，允许单个图像并行处理。先进的算法提供实时反馈和缺陷检测，允许快速分类和提高准确性。系统中增强的动态范围允许它检测晶圆和掩模中的细微缺陷。并行信号和图像处理器有助于在执行检查操作时实现高速。该单元在非常小的尺寸内扫描时保持精度和可重复性,从而能够检查尺寸从0.5微米到25微米不等的设计。KLA ES20 XP配备了事件记录模块,能够捕获和记录要报告的图像帧。用户友好的软件具有多语言支持，并使用经过优化的应用程序，使机器能够针对各种流程或应用程序量身定制。TENCOR ES 20 XP是为高度可靠和准确的结果而构建的,可以定制以满足自己的特定要求和应用。它能够检测和分类由于暴露问题、平版印刷处理参数、迭加误差等而产生的缺陷,使其成为一种用于掩模和晶圆检查的多功能工具。