二手 KLA / TENCOR es20xp #9137120 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
es20xp
ID: 9137120
Inspection scanning electron microscope (SEM), KLA-Tencor 730-611879-001, Rev. AA KLA-Tencor 750-611512-001, Rev. AA KLA-Tencor 450-606043-00 Kensington A00-1464 Kensington A00-1465 (2) Warner Electric Motor M061-LSOSE MDC ABLM-133-1 S/L.
KLA/TENCOR es20xp是一种先进的掩模和晶圆检测设备,设计用于检测半导体生产中的缺陷和过程控制问题。该系统使用顶级、高分辨率硬件和高级软件算法,高速、精确地检查半导体掩模和晶片。其部件包括硬件检测单元、计算机辅助检测机(CAI)和操作员接口。硬件工具具有成像和缺陷检测两个主要功能.资产的第一步是成像,它捕获晶圆或掩模的高分辨率图片。然后,此图片将用于创建特征阵列,这些特征将被标识并与所需的特征集进行比较。如果发现任何缺陷,模型将在图像上复制该缺陷以进行进一步分析。设备的第二步是缺陷检查。检查过程通常包括两个附加步骤。首先,系统进行表面扫描,然后查找晶圆或掩模阵列中的异常。一旦发现差异,单位将其标记为缺陷,并进一步评估其严重程度。CAI提供存储检查程序、自动执行重复任务和分析数据的功能。这台机器旨在减少完成检查所需的时间,并提高准确性和特异性。其组成部分包括模式搜索/匹配算法、统计过程控制软件和数据库集成工具。最后,设计了操作员界面,便于操作和提高可用性.此界面允许用户快速编程工具、查看图像并验证检查结果。它还允许针对特定的应用程序或检查目标优化资产。总之,KLA ES20 XP模型是一种复杂、高效的多元件掩模和晶片检测设备。该系统具有高分辨率的硬件、先进的软件算法和用户友好的界面,能够准确、快速地检测半导体制造过程中的缺陷并控制过程。
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